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NRL60A/90A/180A干式真空泵

NRL60A/90A/180A干式真空泵

簡(jiǎn)要描述:● NRL系列在低溫領(lǐng)域下的均熱化。除PVD工藝外,尤其適用于希望提高流量,縮短排氣時(shí)間的重要工藝腔體的排氣。
● 低噪音、低振動(dòng)
● 優(yōu)良的耐腐蝕性

產(chǎn)品型號(hào): NRL60A/90A/180A

所屬分類:真空泵

更新時(shí)間:2024-12-07

廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家

詳情介紹

 

特長(zhǎng)
● NRL系列在低溫領(lǐng)域下的均熱化。除PVD工藝外,尤其適用于希望提高流量,縮短排氣時(shí)間的重要工藝腔體的排氣。
● 低噪音、低振動(dòng)
● 優(yōu)良的耐腐蝕性
標(biāo)準(zhǔn)零部件采用高硬度并經(jīng)過優(yōu)異的防腐蝕特殊表面處理,降低對(duì)腐蝕性氣體排氣時(shí)泵體內(nèi)部的腐蝕程度。
● 選購(gòu)件
可選購(gòu)消音器、冷卻水流量開關(guān)、氮?dú)饬髁块_關(guān)、泵溫傳感器。
 
用途
◆ 活性氣體(CVD、刻蝕等)
◆ 排出非活性氣體(濺射鍍膜、蒸氣鍍膜、熱處理、液晶注入等)
◆ 用于產(chǎn)生粉塵工藝中的排氣(Si單晶爐等)
◆ 作為前級(jí)泵使用(渦輪式分子泵、機(jī)械羅茨泵的前級(jí)泵)
◆ 冷凍干燥等水蒸氣排氣


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